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(1)由負極致入；在較大的靜電場中，電極上的凸起部分因場發(fā)射電流產生的熱效應而變得較高。在溫度降至零時，凸起部分融化，造成水蒸氣的滲透。

(2)因陰極陽極輻射而造成的滲入：因陰極陽極陽極的陽極化所導致的部分熱融化和水蒸氣而造成的空隙滲透。影響滲入的因素與電場的抬高指標和間隔距離相關。4.微粒導致滲入：假定微小顆粒粘附于電層的平面上，受到靜電磁場的影響而下降，并使其加快。當該小顆粒與其正面的電能團碰撞時，因受力灼傷而融化，造成水蒸氣和滲入。

5.微型充放電引起的真空縫隙滲透：由于電極的表面污染，會引起微小的充放電。微充-放電是一種具有較低的自抑性電流，它的全充電和釋放為3107 c，其持續(xù)的持續(xù)時間為50毫秒到數(shù)毫秒，并且典型地在大于1毫米的空隙處進行充放電。通過對真空縫隙滲透機理的分析，說明了真空開關的真品原料及電極的表面狀況對其影響很大。